真空爐的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。如何解決真空爐的的漏氣問題是大家都比較關(guān)心的問題。
研博爐業(yè)通過從真空爐爐體設(shè)計、密封類型、密封材料、密封結(jié)構(gòu)等方面入手以使真空爐達到更高的真空爐更小的漏氣率。首先就是盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角。其次抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，都利用圓弧過渡，使氣路暢通無阻。真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)都經(jīng)過精密設(shè)計，使氣路暢通，避免氣路堵塞。表面越光亮就越不易氣體吸附，為了更好的獲得真空度真空系統(tǒng)內(nèi)表面都經(jīng)過打磨拋光。最好以下三個方面的選擇可解決真空爐的漏氣難題
一、密封類型的選擇
真空爐密封類型可根據(jù)用戶所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封類型，對于人工晶體生長設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需利用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則利用“0”型密封圈密封類型，直徑壓縮比為25％。
二、密封件材質(zhì)的選用
真空爐真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足需求。但是，考慮到實際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度最高可達2300oC，密封部位進行水冷后，其溫度在80oC左右，個別處溫度可達100oC以上)。因此，要選擇比較理想的密封圈材料。用于真空密封橡膠材料，除需求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還需求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
三、密封結(jié)構(gòu)的選擇：
真空爐的真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，真空爐設(shè)備的密封結(jié)構(gòu)都進行認真設(shè)計，以達到理想的效果。對密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計，重點考慮如何選擇重點密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能等方面。
以上就是研博爐業(yè)總結(jié)的真空爐漏氣問題的解決方案，防患于未然是最好的解決問題的方案，在真空爐工作過程中再出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象就不是小問題了，甚至給用戶帶來重大損失。所以用戶選擇真空爐設(shè)備時一定要選擇可靠的廠家，從源頭上杜絕問題，才是明智的選擇。
